Kuka tietää piikiekon ultraäänipuhdistuskoneen puhdistusmenetelmän?

Fyysistä puhdistusta on kolmenlaisia:

1.Kuorinta tai kuorinta: voi poistaa hiukkassaasteet ja suurimman osan kalvoon juuttuneesta kalvosta.

2.Korkeapainepuhdistus: levyn pinta ruiskutetaan nesteellä, ja suuttimen paine on jopa useita satoja ilmakehää. Korkeapaineen puhdistus suihkutoiminnolla, kalvoa ei ole helppo tuottaa naarmuja ja vaurioita. Korkeapaineruiskutus tuottaa kuitenkin sähköstaattisen vaikutuksen, joka voidaan välttää säätämällä etäisyyttä ja kulmaa suuttimesta kalvoon tai lisäämällä antistaattista ainetta.

Ultraäänipuhdistus: ultraääniäänienergia liuokseen kavitaatiolla kiekkojen saastumisen pesemiseksi. On kuitenkin vaikeampaa poistaa alle 1 mikronin hiukkasia kaavioruhkeista. Jos taajuus nostetaan uHF: ään, puhdistusvaikutus on parempi.

Kemiallinen puhdistus: atomi-, ioni-näkymättömän saastumisen poistamiseksi on enemmän menetelmiä, liuottimen uuttamista, peittausta (rikkihappo, typpihappo, aqua aqua aqua, erilaisia sekahappoja jne.) ja plasmamenetelmää. Vetyperoksidijärjestelmän puhdistusmenetelmällä on hyvä vaikutus ja vähän ympäristön pilaantumista.